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　　★ 电子气体：惰性气体、硅族气体、卤化物或卤化物气体、氟碳气体、含硼、磷、砷等原子气体；

　　★高纯氯气、氨气、氖气、氪气、三氯氢硅、四氟化碳、六氟化硫、锗烷、高纯锗烷、氯化氢、氧化亚氮、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、砷烷、高纯砷烷、磷烷、高纯磷烷、硅烷、二氯二氢硅、高纯三氯化硼、高纯溴化氢、高纯乙硅烷、八氟环丁烷、甲烷、一氧化二氮、电子级正硅酸乙酯、电子级氧化亚氮、六氯乙硅烷和四氯化硅等。

　　★半导体电子特气：超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合气等；

　　★制备高纯电子气体纯化技术、电解技术、电解电源、净化技术、高精度分析检测技术、气体洁净充装技术、高纯混合气体配制系统、电子气体输送系统、管道与运输技术等。